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暗視野顯微鏡在電子設(shè)備檢測(cè)中的應(yīng)用

暗視野(Dark field)技術(shù),是一種利用散射光進(jìn)行觀測(cè)的光學(xué)顯微技術(shù)。樣品受側(cè)向光照射時(shí),產(chǎn)生的散射光進(jìn)入物鏡中,從而使觀測(cè)者能夠來分辨樣品細(xì)節(jié)。

暗視野顯微鏡和一般的明視野顯微鏡的主要區(qū)別在于聚光鏡上。暗視野顯微鏡裝有一個(gè)遮擋中心的的聚光鏡。光不能直射通過聚光鏡,只能從聚光鏡周圍未遮暗的部位斜射到樣品上。因光線是斜射的,不能進(jìn)入物鏡,故觀察的背景是暗的。樣品由于光散射作用,而發(fā)出亮光,這樣在顯微鏡中可見到暗視野中明亮的物像。

暗視野技術(shù)也可以用于電子設(shè)備的檢測(cè)。由于金屬表面高反射性,產(chǎn)生的眩光通常掩蓋了表面細(xì)節(jié)。利用暗視野技術(shù)就能很好地解決這一問題。同時(shí),暗視野技術(shù)也能有效提高圖像的分辨力。

以下是我司金相顯微鏡MJ33搭配顯微鏡成像裝置MD30實(shí)拍的LED PN底板的圖片。利用暗視野技術(shù),能夠輕易分辨底板上的瑕疵,從而有效地提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

電子設(shè)備檢測(cè)顯微圖片 
圖1:明場(chǎng)-10倍

暗場(chǎng)顯微鏡 LED
圖2:暗場(chǎng)-10X 

50倍金相顯微鏡
圖3:明場(chǎng)-50X

金相顯微鏡下的LED
圖4:暗場(chǎng)50X

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